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是一种单螺杆式输运泵，它的主要工作部件是偏心螺旋体的螺杆（称转子）和内表面呈双线螺旋面的螺杆衬套（称定子）。其工作原理是当电动机带动泵轴转动时，螺杆一方面绕本身的轴线旋转，另一方面它又沿衬套内表面滚动，于是形成泵的密封腔室。螺杆每转一周，密封腔内的液体向前推进一个螺距，随着螺杆的连续转动，宝盟Baumer测距传感器，液体螺旋形方式从一个密封腔压向另一个密封腔，Baumer测距传感器，后挤出泵体。螺杆泵是一种新型的输送液体的机械，具有结构简单、工作、使用维修方便、出液连续均匀、压力稳定等优点。 [4]

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① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

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该压力泵由机械、动力和控制三大部分组成。其机械部分由:(l)数字式电液比例控制泵(含泵体和配油机构);(2)传动机构(高精度滚珠丝杆);(3)机架组成。动力部分山步进电机和电源组成。控制部分山:(1)单片机;(2)压力传感器:(3)控制程序(自编)组成。其中数字式电液比例控制泵的设计制造是保证实现压力控制泵高分辨率和高精度的关键。

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