广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵分子泵真空机组

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高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。

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真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵维修、拆洗。

德国普发Pfeiffer 双极旋片真空泵Duo产品特点

1.双极旋片真空泵环保- 无油渗漏

2. 运行费用低- 无需维护轴封

3. 工作气体和环境之间无交换

4.双极旋片真空泵集成的高真空安全阀和气镇阀

5. 有丰富的附件可用于检测和系统集成

6. 可提供用于腐蚀性气体的型号

7.双极旋片真空泵单项、三项马达供选择

8. 设计紧凑，占地面积小，易于系统集成

9. 耐水汽，对于水蒸气也有较大的抽吸能力

10.低噪音设计

排气口设计的优良特性使容积压缩比和压力配合适当，提高了生产的效率，从而能降低操作费用。采用压力溢流式润滑，从而确保轴承及转动组件的润滑良好，延长了好凯德螺杆式真空泵的使用寿命。较低的生产成本，坚固的构造，较低的生产噪声，较高的可靠性，较低的真空泵维修保养费用等优势都是螺杆式真空泵的技术力量支持。

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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油

　　(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

　　(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

　　(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，普发真空泵HiPace80，可进行修整。

　　(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。

　　注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准

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