氦检漏系统是一种用于检测和诊断气体泄漏的安全设备。它通过使用氦气来填充检测容器来检测泄漏点，并且可以在不直接接触液体或气体的情况下工作。该系统广泛应用于石油、化工、制药、电力和能源等行业，以及航空、船舶和站等领域。它具有灵敏度高、检测范围广、操作安全、使用方便等特点，是泄漏检测领域的重要工具。

氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，氦气回收设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。

检漏系统主要功能包括：
1.自动检测泄漏点。通过在管道内输入含有示踪剂的流体，利用传感器和成像设备探测并记录泄露的位置、大小等数据信息来实现对管线及设备的无损探伤；同时也可以用于储罐的内窥检验，了解其内部腐蚀情况、结疤等情况以及焊缝质量等信息。
2.对危险品油轮船或液化气运输槽车进行在线气体分析，可以对可燃气体的含量变化趋势进行分析预测，并通过仪器自带的控制阀实现惰化保护措施或者充压缩空气置换防爆电泵的作用来防止由可燃混空所引起的事故的发生。

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