





高温炉
高温炉操作规程
1 准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a,打开主电源开关b, 向炉体充ya气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板c, 将输送车开关打至 OUTd, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,箱式高温炉,依次装入硅料。b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开ya气阀门充ya气(20L/min)。加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。冷却a、加热结束后,按工艺条件进行冷却。
高温炉修复工作: 1.额定功率不应超过额定功率。 炉子的温度不应超过高温。 禁止将湿部件放入炉内并预干燥含有过量水分的加热部件。 2.保持炉子清洁,去除炉内的金属氧化物,炉渣和杂质。 处理工件时应小心,以防止损坏硅钼棒。 3,硅钼棒碱,碱金属,硅酸和硼化合物在高温下会腐蚀它,水蒸气有很强的氧化作用,含有大量氢的氢气和气体会在高温下分解硅钼棒。 使用时要注意。 4,车间配有1/2水管,水源和0.2MPa力。
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