法　将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法　氯氟代和六氟化硫联产，六氟化硫性质，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，六氟化硫检测，广泛应用于微电子技术领域，常州六氟化硫，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。

急救措施

吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。

消防措施

危险特性:若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆i炸的危险。

有害燃烧产物:氧化硫、氟i化氢。

灭火方法:该品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。

在对动物(雌性大、小鼠)进行分组急性静式染毒试验、亚急性静式染毒试验中，分别将白鼠放在不同浓度的 六氟化硫(SF6) 新气体或(与电弧接触过的)开断气的气体分组箱里。其结果是急性静式染毒试验未发现异常，六氟化硫作用，而亚急性静式染毒试验则发现一只大鼠的肺毛细血i管在电子显微镜下有轻度亚微结构改变。是否就是由 六氟化硫(SF6) 气体引起的，因试验的动物数量有限，还难以定论。

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