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肺功能仪为测量仪器，可以进行肺功能测试并肺部健康情况，可测量包含FVC、FEV1、FEV1/FVC等常用肺功能检测参数。热丝式双向流速传感器 。采用铂-铑合金材料制造，度高，重复性好，美国宇航局

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这种传感器已经成功地用于：、、氢气、氨气、肼、等气体的检测之中，是现有毒有害气体检测的主流传感器。浓差电池型气体传感器，具有电化学活性的气体在电化学电池的两侧，会自发形成浓差电动势，电动势的大小与气体的浓度有关，这种传感器的成功实例就是汽车用氧气传感器、固体电解质型二氧化碳传感器。

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20世纪80年代，原来从事变压吸附制氧装备研制单位的开发项目相继中止，中国变压吸附制氧技术的开发再次进入低谷。1995年，睡眠呼吸机专卖店，昆山锦沪机械有限公司在河南洛阳钢铁厂建成VPSAO1000Nm3/h制氧机，标志着变压吸附在中国正式进入工业领域，也标志着变压吸附在中国进入高速发展时期。

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