真空设备检漏

设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，板式换热器氦测漏设备，

其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，真空箱式氦测漏设备，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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氮气和氢气的混合气的用途

电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，高压柜氦测漏设备，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数质量较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，氦测漏设备，液氮多来源于化肥厂，供应上较严重，故成本也较高。

氢气的应用场合

氢气，化学式为H?，分子量为2.01588，常温常压下，是一种极烧的气体。

氢气是世界上已知的密度小的气体，氢气的密度只有空气的1/14，即在1标准大气压和0℃，氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气，而不采用高耗能的电解水的方法。

氢气一般出现在1.做还原气：金属加工。2.做保护气：金属加工。3.做燃料气：电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质：电厂。5.做为化工介质：油脂加氢。6.做燃料用：液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。

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