气路系统百科知识

      一、气瓶间。

　　1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。

　　2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;

　　3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;

　　4、还应设立泄露报警系统。

　　二、色谱室。

　　1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;

　　2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;

　　3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;

　　4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;

　　5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;

　　6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。

实验室气体工程安装注意事项

　　（1） 管径为1/8的管路很细且特软，安装后不直，吴中区气体管道，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，在二级减压器末端加一变径就可以了。

　　（2） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，甲i烷，氧气的已经减压器压力表量程为0—25Mpa，二级减压器为0—1.6 Mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 Mpa，二级减压器为0—0.25 Mpa。

　　（3） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，气体管道颜色，一是正转钢瓶接头，另一是反转。大气瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。

　　（4） 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

　　（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，气体管道选择，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，气体管道压力，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

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