主要使用X射线束激发荧光辐射，次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，EDX-8000MAXSDD贵金属分析仪，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。




当具有高能量的入射（一次）X射线与原子发生碰撞时，会打破（待测样品的）原子结构的稳定性。处于低能量电子壳层（如：K层）的电子更容易被激发而从原子中逐放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位，这时处于高能量电子壳层的电子（如：L层）会跃迁到该低能量电子壳层来补充相应的电子空位。由于不用电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来.




X 射线荧光光谱仪的不断完善和发展所带动的X 射线荧光分析技术已被广泛用于冶金、地质、矿物、石油、化工、生物、、刑侦、考古等诸多部门和领域。X 射线荧光光谱分析不仅成为对其物质的化学元素、物相、化学立体结构、物证材料进行试测，对产品和材料质量进行无损检测，对人体进检和微电路的光刻检验等的重要分析手段，也是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法。




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