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      真空泵的作业原理，真空泵基本上能够分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。跟着真空应用技术在出产和科学研究领域中对其应用压强规模的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统一起抽气后才干满足出产和科学研究进程的要求，因而选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的状况较多。

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   涡轮分子泵是获取高真空的一个重要设备，被广泛应用于高真空场合。相较于传统滚珠及油膜轴承，电磁轴承作为一种新型轴承，因其非接触、无摩擦、低功耗、维护成本低、动力学可控并可对转子动不平衡进行主动控制等特殊优点，在工业应用上前景广阔。对真空设备而言，非接触悬浮是很有吸引力的。电磁轴承应用于涡轮分子泵，可实现分子泵的无油、无磨损运行，运行安静，振动很小，尤其适合半导体工业等超净高真空应用场合。在此，将介绍2000 L 五自由度磁轴承涡轮分子泵样机研究进展，重点关注磁悬浮分子泵试验研究中遇到的各种复杂振动抑制问题。这些振动问题由各种因素所导致，包括泵转子的弯曲模态振动，陀螺效应造成的转子动力学失稳，泵叶轮上叶片的颤振及一个由转子与分子泵永磁电机共同导致的复杂振动模态。这些因素同时出现，中山莱宝分子泵保养，并且均能对泵转子的稳定性造成破坏，必须在磁轴承控制器设计中同时解决，给控制器的设计带来大的困难。

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