特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体分类：标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性良好和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求，我国特种气体行业在 2006 年后进入快速发展阶段，广泛应用于集成电路、显示面 板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保和新兴产业领域，

 特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。特种气体(Specialtygases) 气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，特种气体厂家，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。根据有关数据显示，呼和浩特特种气体，中国特种功能电子气体市场规模逐年增长，仅2016年，中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，从产业链以及技术层面欧美国家占据较好的地位。

 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，特种气体公司，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，特种气体批发，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。

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