特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，海口特种气体，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。

特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体分类：标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，特种气体销售， 稳定性良好和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求，特种气体价格，我国特种气体行业在 2006 年后进入快速发展阶段，广泛应用于集成电路、显示面 板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保和新兴产业领域，

特种气体的储存注意事项：储存高压气体≥300m，液化气≥3000kgs时，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，特种气体厂家，需设有安全警示牌。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤，其中气体的纯化、混配等是气体公司的竞争力。特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，随着工业、科学研究、自动化技术、精密检测（特别是微电子技术）的发展，特种气体成为工业气体市场规模增长新动力，广泛应用于半导体、LED、光纤光缆等新兴行业。

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