净化方案一：组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口：这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二：水冷柜机+增压风柜+高效送风口：与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

保湿性能好，强度高，隔热保温，光学材料净化车间设计，芯材导热系数：λ<=0.041w/mk。强度高：可作天花围护规划板材承重，抗弯抗压。3、施工方便，重量轻：10-14千克/平方米，相当于砖墙的1/30 ，净化厂房隔墙、顶板一般多选用50mm厚的夹板；并且彩钢板设备灵敏方便：施工周期短，车间可以依据出产需要进行调整，运用彩钢板墙体，车间改造施工愈加方便。

和其他产业不同，集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成，从单晶硅片制造，到IC制造的几乎所有环节，到IC封装都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。如，14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了终产品的成败。

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