气体管道安装

联接方法

管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法，由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定，主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。

螺纹联接

主要适用于小直径管道。联接时，一般要在螺纹联接部分缠上氟塑料密封带，或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料，以防止泄漏。在1.6兆帕以上压力时，一般在管子端面加垫片密封。这种联接方法简单，可以拆卸重装，但须在管道的适当地方安装活接头，以便于拆装。

气体汇流排体现了哪些优势?

气体汇流排是一种集中式或空气供给装置，它是唯i一的通过阀，多缸气管道连接到母线槽，以便在同一时间，在这些气体钢瓶。或减压后，后用气管道末端稳定，确保空气压力稳定气体用具的调节，气体管道种类，实现不间断供气的目的。气车适用于大型企业的天i然气消费，原则是瓶装气排气管的软管卡箍，通过输入一个总线减压后，调节，通过管道输送至网站的使用，本产品适用于介质中的氧，氢，张家港气体管道，氮，空气，气体管道安装，液i化石i油气，溶解乙i炔气体，主要用于工矿企业，医i疗机构，气体管道设计，研究机构和其他天i然气消费大单位。

1、采用总线可以节省筒更换次数，降低了工人的劳动强度，节约了劳动成本。

2、让高压气体集中管理，可以减少安全隐患。

3、可以节省空间，空间的合理使用更好的。

4、容易气体汇流排管理。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

苏州珂锐弘扬流体控制(图)-气体管道设计-张家港气体管道由苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司提供。苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司拥有很好的服务与产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员，点击页面的商盟客服图标，可以直接与我们客服人员对话，愿我们今后的合作愉快！