各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，实验室气体管道安装厂家，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，实验室气体管道安装怎么样，工作的安全性大大提高。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些？

1、用固体CaCl2除水，水份可降低至0.1%（体积）以下；

2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，水份可降至0.01%（体积）以下；

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水，可降到600～1000ppm，实验室气体管道安装价格，夏季水份还要更多些；

4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛，具有良好的热稳定性，除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外，在900℃前无明显的分解峰，说明其晶格具有优良的稳定性。

　　实验室气路改造安全要求

　　1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。

　　2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶，以防止吸回瓶中的现象发生，并造成危险。

　　3、如果气瓶发热或发生回火，立即关闭气瓶阀门，将气瓶移出室外空矿坑，将气瓶浸入冷水中，实验室气体管道安装，或倒入大量冷水降温，慢慢打开阀门并继续冷却，直到气体释放。

　　4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。

　　5、氧气虽然不易i燃，但助燃性强，不得接触污物、有机物。

　　6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。

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