射线管发射具有高能量的粒子束照射样品， 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时， 便可将该轨道的电子逐出， 形成空穴， 即时外层电子跃向空穴， 电子轨道层的能量差将以特征X射线荧光逸出原子， 其能量差与原子序数相对应， 以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据RoHS检测中元素的特点以及大量实际检测经验， 能量色散X射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的Rh靶来产生特征X射线激发样品原子中K层L层谱线， 可降低背景




由于原子的能级很多，原子在被激发后，其外层电子可有不同的跃迁，但这些跃迁应遵循一定的规则(即“光谱选律”)，因此对特定元素的原子可产生一系列不同波长的特征光谱线，这些谱线按一定的顺序排列，并保持一定的强度比例。光谱分析就是从识别这些元素的特征光谱来鉴别元素的存在(定性分析)，而这些光谱线的强度又与试样中该元素的含量有关，因此又可利用这些谱线的强度来测定元素的含量(定量分析)。

RoHS检测方法可以参考IEC62321：2008电子电气产品中六种限用物质浓度的测定程序

首先用XRF光谱仪进行无损筛选，快速，非破坏性，COMPASS200便携式三元催化分析仪，成本低。但干扰因素多，误差较大。

XRF光谱RoHS分析仪以其可进行快速无损筛检的性能，受到多个行业的青睐，其中包括

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