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涡轮分子泵常见问题

1、不可以在前面泵工作中时（前面管道接入）和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用，shimadzu进口真空泵维修保养，不然可能使油蒸汽快速过去级管道反流到泵的清理端。

2、分子泵系统软件在关机充干躁汽体前，一定要先将分子泵冷却循环水关掉，且要从泵的高真空泵端打气。允许从泵的前面管道开展打气。

3、选择系统前面泵的大钟头，应以涡轮分子泵的前面维持在分子结构流情况下。

扩散泵的运用

使用扩散泵时，需按说明书规定，保证有一定的加热功率和冷却水流量，被抽容器内的压力由前级泵抽到低于允许zui大工作压力后，才能启用。另外宜于在泵完全正常工作后，才打开阀门正式使用。停止使用时，需要待泵油冷却后才能关掉前级机械泵，如有可能将扩散泵始终保持在真空状态下*好，*后关去冷却水。岛津真空泵维修报价单

高真空泵到极高真空泵用泵

真空设备做到高真空泵范畴后汽体分子结构相对密度相对性降低，没法应用缩小的方法抽真空。这时，必须应用运用授予汽体分子动能的排气管式泵或将汽体存储在泵中的贮气式泵做为真空包装的泵。抽高真空泵采用的机械泵为涡轮增压分子泵、冷凝泵。

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扩散泵的运用

使用扩散泵时，需按说明书规定，保证有一定的加热功率和冷却水流量，被抽容器内的压力由前级泵抽到低于允许zui大工作压力后，才能启用。另外宜于在泵完全正常工作后，才打开阀门正式使用。停止使用时，需要待泵油冷却后才能关掉前级机械泵，如有可能将扩散泵始终保持在真空状态下*好，*后关去冷却水。

抗震动完成检测对一批泵（处在运作和非运作标准下）开展一系列检测，证实对外界源造成震动的耐受力在105分鐘的震动周期时间中，全转速比和不运作的每一个泵在垂、水准、倒立起来方位上遭受0.5–3g瞬时速度水准的震动。该检测确认了泵的可靠性及其耐振性，由于未观查到转子机械设备触碰或泵运作情况的更改，且泵不平衡依然远小于阀值。

轴封发热填料压得太紧或磨擦

处理方法：放松填料，检查水封管；

水封圈与水封管错位

处理方法：重新检查对准；

冲洗、冷却不良

处理方法：检查冲洗冷却循环管；

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循环冷却水

 冷却水供应不足时，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽返入抽气管。冷凝水在多级真空泵中起着重要作用。冷凝水可以充分凝结蒸汽，真空泵排出压力中的水蒸气分压必须高于相应的整体蒸气压，因此冷凝水的温度也必须低于此压力下的整体温度，才能保证泵体的正常运行。

真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

机械泵可以做到的真空度大约是1Pa，也就是大气压力的十万分之一。当然，那样的真空度还远远地达不上许多物理实验的规定。这种转变假定产生颗粒物、可凝物或是腐蚀物质，就将会阻塞真空泵或管道系统软件，危害真空泵特性，导致工作压力升高或过压，一点中提及的危险因素也更大。这时候就需要请出另一位“泵”届巨头，分子泵。分子泵运用靠高速运转的动叶片和静止不动的定叶片互相配合，给气体分子一个附加的定项速率，从内腔中抽出来。

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

原因：负载太大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

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