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立式涡轮分子泵的优点是:真空系统的结构简单,在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构;其次是泵内只有一组涡轮叶片,因而价格较低廉。
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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,河源爱德华磁悬浮分子泵,具备 300ls-1 的 N2 抽速。
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Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列其质量和可靠性都很好,是优选分子泵,其应用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造, 及工业、制药、化工、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。
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