电子气体　

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，特种气体储存，由于所用气体的品种多、质量要求高，特种气体价格，为有别于其它领域应用的气体，特种气体用途，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业　电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显　示器件、光导纤维生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产。　半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。

标准气体的制备过程

无论是采用压力法，体积法或称量法制备瓶装标准气体， 均需通过下列过程实现。充装----滚动混匀----分析检测----给出量值(检验报告或标准物质证书)。通过压力法/体积法或称量法实现混合气体充装已不再是难题， 只要具备的压力表和的天平、充装是很容易实现的。如何使标准气体量值准确和有效， 是所有标准气体制造商和研究机构面临的任务。

影响标准气体量值稳定的因素：

1、气瓶和阀门材料 在气体充装前， 要充分考虑到气体各组分与气瓶材料， 阀门及密封材料的相容性， 作为标准气体的包装容器， 碳钢，铝合金材料已被广泛应用。不同浓度，相门区特种气体，不同组分的标准气体是否和气瓶材料或阀门材料相容， 直接影响到标准气体的质量。如氟i化氢，氯i化氢，氟i气，氯i气， 氯甲i烷，氯乙i烷，CH3-Br等与铝产生反应， 不能用铝合金气瓶直接盛装。一定浓度的腐蚀性气体不能选择铜阀而需要选择不锈钢阀。

2、气瓶处理方法 用于盛装标准气体的气瓶， 内表面需进行常规处理和特殊处理， 以保证标准气体量值的稳定。处理方法包括加热除去气瓶内的水分， 抽真空置换除去空气及其他杂质气体， 内表面涂层使气瓶内表面减少与组份气体的物理吸附或化学反应；内表面钝化使气瓶内表面具有好的惰性， 有利于活泼性气体混合物的量值稳定。对于微量活泼性气体， 正确地选择气瓶处理方法是制备标准气体的关键。

3、组成混合气体各组份原料气的纯度及杂质。除了材料相容性和进行适当的气瓶处理外， 原材料的纯度是另一个值得注意的问题、如果原料中含有和配制组份相同的杂质， 杂质的准确定量就直接影响到组分的量值、如制备氮气为背景气的1ppm二氧化碳标准气体， 除了要知道组分气的纯度外，还要知道高纯氮气中CO2的含量。这样才能给出CO2的准确量值。

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