三氟甲i烷 （CHF3)

包装：采用40L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。

用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。

理化性质: 是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲i烷具有窒息麻i醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻i伤。

注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，宁波氦气，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

氮气注意事项

氮气是一种无色、无味、无毒的不燃烧的储存于气瓶中的高压气体。

使用前先给氮气管道试压和试漏，严禁氮气管道泄漏，氦气报价，操作环境保持通风，当空气中氮气含量增加导致氧气含量低于19.5%时有可能引起窒息。 瓶装氮气为高压充装气体，使用时应经氮气减压器减压降i压后方可使用，移动氮气钢瓶时应使用钢瓶手推车。

包装的氮气钢瓶上均有使用的年限，一般为5年必须检验，30年强制报废，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。

每瓶氮气在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，氦气好不好，不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。

瓶装氮气产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。

液氮温度低至-196℃，跟皮肤接触能使皮肤严重冻i伤。

量增加导致氧气含量低于19.5%时有可能引起窒息。

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其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。

　　在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。

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