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 准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了工业激光解决方案的前沿。准分子激光推进了刻蚀、材料研究、汽车制造、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。准分子激光气体体是用于准分子激光设备中的激光发生器的关键气体。准分子激光首先被应用在工业上:美国IBM公司开始使用并且改进准分子激光技术，主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻准的图形。

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