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高温炉操作规程

1 准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a,打开主电源开关b, 向炉体充ya气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板c, 将输送车开关打至 OUTd, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开ya气阀门充ya气(20L/min)。加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。冷却a、加热结束后,按工艺条件进行冷却。








注意事项

除了做实验外,不要停留在高温炉管区。实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,高温钎焊炉应用,保留N2流动,并查看是否有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它,请随手关掉。处理HF时,请戴手套,高温钎焊炉,如不小心碰到HF时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。石英玻璃制品请小心使用,高温钎焊炉安装,以免断裂,引起严重割伤。避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。qing化钾(KCN)不可与酸类混置,因两者可产生剧i毒之KCN气体。一旦发现有妨碍安全之事物时,请立即通知有关人员(技术员等)。请节约纯水用量。破晶片、滤纸、棉花棒,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。晶片进出炉口时,高温钎焊炉生产,请勿碰触炉管口,以免污染炉管。













如何选择高温炉的升降台

有一些高温炉已经配备了升降台,相对来说,这就是在原本的高温炉的基础之上加上了升降设备,从而能够有效地实现他的另一种功能,当然,高温炉的使用范围相对而言也是非常广泛的,尤其是对于一些物品的处理,有着特殊的要求,对整个设备或者是环境通常而言都有着一定的限制,高温炉可以不断的调节高度,能够较大化地实现伸缩自由,当然,他们正好也满足了这些需求,也正因为如此,他才能够得到大幅度的推广。









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