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压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改变气体通过压电阀的流量。英福康真空计维修保养

当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改变压电阀的流导，从而改变流过压电阀的气体流量。于是，可实现真空装置的真空室中的真空度调节。英福康真空计维修保养

电容薄膜真空计

属弹性元件真空计，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，英福康检漏仪维修，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时，参考室抽至高真空，其压强近似为零。当测量室压强不同时，薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极，它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变，通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变，通常采用零位法测量，即在固定电极和薄膜之间加一直流电压，利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力，使膜片保持零位。

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广州潽拓光电科技有限公司——英福康检漏仪维修氦质谱检漏仪维修

氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。氦质谱检漏仪维修

*星的整体泄漏检测就是使用的充氦法，wei星以这种方式放置在大型环形模具室中，并且使用环形模具设备的真空系统将环形模具抽真空。首先，用辅助泵对环形模具进行粗加工和预抽，在检漏中，首先用机械泵将*星和充气管抽入真空，然后将氦气充入*星，根据*星工作的压力保持压力，*后打开氦质谱检漏仪的标准检漏校准仪，可以直接测量*星的泄漏率。氦质谱检漏仪维修

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皮拉尼电阻规也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。

由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定

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