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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵(10-3至10-8托)或极高机械泵(<10-8托)的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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高真空涡轮分子泵是什么?
涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,瓦里安涡轮分子泵价钱,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。
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分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?
答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
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