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液态气体为淡蓝色液体。密度约0.9。沸点-192℃(101.3千帕,准分子预混气多少钱,760毫米柱)。可用钢筒贮存和运输。广泛用作氧气的来源。将空气压缩,并冷却至低温,准分子预混气,再使之膨胀而得。作用在准分子激光设备上激发激光的预混气体主要是氟气和氩气,以氖气为平衡气。采用别纯度的原料气体,采用自动化气体预混系统配制,有效降低人为因素影响。







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