经典光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器；新型光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的，它采用圆孔进光。根据色散组件的分光原理，光谱仪器可分为：棱镜光谱仪，衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。光学多道分析仪OMA (Optical Multi-channel Analyzer)是近十几年出现的采用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器，它集信息采集，处理，存储诸功能于一体。




设备的测试重复性和稳定性非常关键，X荧光光谱仪是基于X射线的元素定性和定量分析技术，各生产厂家根据不同的标定曲线来对样品进行定量，如果每次测试偏差很大，再号称多的仪器也没有作用，这方面也是考察XRF仪器的一个重要依据。很多销售人员都会说XRF本身存在不稳定性，这是事实，EDX-5000 光谱测金仪厂家，但如果偏差的太远，那也说明技术不过关，测试根本就起不到应有的检测作用。测量稳定性和重复性是衡量设备性能的一个关键指标。




当具有高能量的入射（一次）X射线与原子发生碰撞时，会打破（待测样品的）原子结构的稳定性。处于低能量电子壳层（如：K层）的电子更容易被激发而从原子中逐放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位，这时处于高能量电子壳层的电子（如：L层）会跃迁到该低能量电子壳层来补充相应的电子空位。由于不用电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来.




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