质量流量控制器用在哪些地方？

气体质量流量计和控制器能用来测量单一气体的结构，紧凑的气体质量流量计和控制器能用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组。主要的技术优点：基于热式毛细管技术，模块化的设计；极其紧凑的尺寸；高精度，线性和重复性稳定；快速响应时间；多种气体/多量程范围可选。

氦气，是一种稀有气体，化学式为He，因现在氦气在各行业中的广泛使用，因此控制气体的流量与大小，在节能减排、控制成本方面有重大意义。热式气体质量流量控制器为一款高精度的气体控制设备，能很好的控制气体的进气质量，气体流量的大小也不受温度和压力的变化影响，是一款稳定的气体质量流量控制仪器。

氦气为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。一般用在以下行业中：

1、氦气可作为燃料的压送剂和增压剂。

2、氦用作冶炼及焊接时的保护气体，这在钢铁冶炼等行业的制造方面非常重要。

3、氦气有优良的渗透性， 用于一些管道及电子和电气装置等的检漏和气密性测试中。

4、氦气是具有理想气体性质的气体，是极低温度下蒸气压温度计的理想用气。

5、氦气的质量密度、重量密度都低，可用来填充灯泡、霓虹灯管，也是理想的气球及飞艇用气。

6、氦气惰性气体的一种，可将氦气与氧气混合，作为呼吸用气体。

质量流量控制法的配气装置

SSGM系列的配气装置采用质量流量控制法，经过持续不断的改进和创新，仪器性能及指标进一步提高，江苏大流量流量计，具有极高的灵敏度，很高的稳定性和适应力，可适应各种恶劣的工作条件。配气装置采用质量流量控制法，控制气体的进气量，结合本公司特有的新型计算方法，综合得出的一款全自动配气装置。质量流量控制装置在制造工艺中对供给的气体的质量流量进行控制等目的而被广泛使用。

质量流量控制装置(质量流量控制器)是至少包括测量流体的流量的流量计、控制流体的流量的流量控制阀、管路保护系统，压力测试装置等硬件部分，通过可编程控制器对流量计和流量控制阀进行控制的控制电路及其他零部件的控制设备。质量流量是一种保证监测数据准确可靠的方法，也是科学管理实验室和检测系统的有效措施，它可以保证数据质量，使流量的检测和控制建立在可靠的基础之上。

配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要重要部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，准确控制各个气体组成成分的输入量，经由设计及生产的混气腔室后输出。配气过程直观，调整便捷，为纯机器结构，使用寿命长，安全和可靠，体积小巧、重量轻，大流量流量计公司，携带和使用方便，可实现双元或多元气体同步混合，混气过程复现性优良，比例稳定。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，大流量流量计厂家，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，大流量流量计哪家好，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

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