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世界上早生产制氧机的国家是德国和法国。德国林德公司于1903年制成了世界0米3 /秒时制氧机，继德国之后法国空气液化公司于1910年也开始生产制氧机。从1903年制氧机已有百年历史。 [3]

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1、袖珍式，体积小巧，使用方便。2、9V迭层电池供电，便于携带。3、适合不连续监测的场合使用。性能稳定，精度达到0.01%。4、价格便宜，实用。

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20世纪80年代，原来从事变压吸附制氧装备研制单位的开发项目相继中止，中国变压吸附制氧技术的开发再次进入低谷。1995年，昆山锦沪机械有限公司在河南洛阳钢铁厂建成VPSAO1000Nm3/h制氧机，标志着变压吸附在中国正式进入工业领域，也标志着变压吸附在中国进入高速发展时期。

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