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定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养；或者根据实际使用工况进行保养。

Pfeiffer普发TMH071P机械泵保养，Pfeiffer TMH071YP/TMU071P普发涡轮分子泵应用于氦质谱检漏仪及小型分子泵组中，进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s， 转速为90000rpm， 对应的控制器为TC600

机械密封，密封效果好，泄漏量很小，寿命长，但价格贵，加工安装维修保要求较高，适用于输送石油及化工介质，可用于各种不同粘度、强腐蚀性和含颗粒的介质。3.动力密封xing能可靠，价格便宜，维修方便，适用于输送含有固体颗粒较多的介质，缺点是功率损失较机械密封大，且泵停止运转后动力密封的寿命较短。

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广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器维修厂家分子泵真空机组

Pfeiffer普发 HiPace 1500UC涡轮分子泵维修，德国普发HiPace1500UC分子泵，适用于工业环境，可以安装在任何方向，简单可靠的集成系统，对气体中的灰尘和小颗粒不敏感，Pfeiffer HiPace 1500UC普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/ DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1100L/s - 1450 L/s，普发分子泵控制器维修厂家，转速；37800，极限压力：1X10-7

高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。

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广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器维修厂家旋片真空泵维修

分子泵叶片破碎是什么原因造成的呢?

 错误操作：比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。旋片真空泵维修

油棉污染：油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。shou先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。旋片真空泵维修

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵，旋片真空泵维修

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

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