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（7）在亚微米级集成电路生产中，要求提供10-9级高纯气体。为了保证结束气体处理设备的气体纯度，应提高气体中的杂质含量（包含尘粒）控制在规定值内，一般在设备前设置终端净化设备或终端高精度气体过滤器。每种气体都有自身的能量，有的是对人们有利的，但有的气体确是对人们有害的，平常看的电视剧电影，谍战的那种，很多里面都会有这些风险气体，可见，东西都要用对当地，这样才干发挥作用，荆州江陵氦气，那么高纯氦气是怎么样的一种气体呢？关于它的注意事项又是什么呢？
（四）体系测验1、体系检测是高纯气体施工的一环，它是在管道压力实验、吹扫结束后进行。2、体系测验运用的气体先是合格气体，气体的洁净度、含氧量、漏点及碳氢化合物应符合要求。3、目标的检测是经过在管道里充入合格气体，在出口处用仪器测量，管道里吹出的气体合格了，阐明这条管路目标合格了。材料高纯气体管道按其流转介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有铬、镍、钼三种合金元素，铬的存在上升了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性，构成一层富铬氧化膜；而钼的存在则上升了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性；镍是奥氏体的构成元素，它们的存在既上升了钢的耐腐蚀性，又上升了钢的工艺性能。高纯氦气在使用时运用YQY-12或152IN-125等减压器减压后运用，运用前运用肥皂水检漏气体管道，确保气体管道不漏气。
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