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压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr(13.33 Pa),varian分子泵维修费用,那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1 10- 10 Torr(13.33 nPa)。

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分子泵是高速运转的机械设备,滚动轴承常见故障很有可能会导致泵叶子粉碎立即损毁;而当滚动轴承运行状态欠佳时,会出现一系列的状况,如分子泵无法启动,运作噪声扩大,溫度或输出功率出现异常提升等,在清除外部自然环境和进排气管工作压力过高外部要素后,应尽早停泵,汕头varian分子泵维修,送至维修站开展维修。

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