RCO催化燃烧设备过程是在催化燃烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，RCO催化燃烧设备碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化，产生二氧化碳和水RCO催化燃烧设备应的关键是选择合适的催化剂。对RCO催化燃烧设备的要求是：活性高,特别要低温活性好,以便在尽可能低的温度下开始反应。燃烧反应是放热反应，释放出大量的热可使催化剂的表面达到 500～1000℃的高温，而催化剂容易因熔融而降低活性，所以要求催化剂能耐高温。
对于可以溶于的有机物，可采用适当的有机物作吸收剂处理有机废气，例如用二乙二醇醚作吸收剂吸收类废气，用轻柴油做吸收剂吸收蒸汽等。RCO催化燃烧设备等轻质油品从炼油厂或油库外运时，在装火车或汽车槽车的过程中，由于油品喷洒、搅动、蒸发等，将引起油品损耗且污染大气。为回收处理这些油气，可设置吸收塔，用轻柴油作吸收剂进行吸收。油品装车被置换出来的混合油气，经集气管、凝缩油罐进行分液后，进入吸收塔吸收。RCO催化燃烧设备吸收富油经缓冲罐、富油泵、富油罐送去回炼。未被吸收的气体从塔顶排人放散管，放散管底部供给大量新鲜空气，将尾气稀释后排入大气。吸收剂进塔温度不高于37℃，夏季气温高时，需将吸收液冷却降温
催化燃烧法是在催化剂的作用下将废气中的有机污染物完全氧化成CO2和H2O。催化燃烧法的起燃温度低，安全性能好，对需净化有机物的浓度限制小，这使RCO催化燃烧设备较多应用于低浓度有机污染物的处理，但废气中的尘粒和雾滴有可能使催化剂寿命降低，因而RCO催化燃烧设备不宜于处理含尘粒和雾滴的有机废气。RCO催化燃烧设备催化燃烧的催化剂有***催化剂、非***催化剂和稀土金属催化剂，通常将催化剂的活性组分载到载体上制成粒状或蜂窝状使用。
