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O2一般用以镀非金属材料膜,如TiO2,无须担忧镀好膜后产生膜空气氧化状况。N2是在换靶镀膜时往真空系统冲进的汽体,让真空泵房间内气体压强和大气压强维持相同,才可以打开表盖换靶镀另一层膜。N2一般是提升黄色b值,比如锆,渗氮锆是橙黄色的!有机废气一般用于调整鲜红色正a值!但与此同时会略微减少N2实际效果!对于時间,一般90秒之上就遮住背景色了


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