60年代中期起，SF6被广泛用作高压电气设备的绝缘介质。SF6气体绝缘的全封闭开关设备比常规的敞开式高压配电装置占地面积小得多，且其运行不受外界气象和环境条件的影响，因此不仅广泛用于超高压和特高压电力系统，而且已开始用于配电网络(SF6气体绝缘的开关柜和环网供电单元)。SF6气体绝缘的管道输电线的优点是介质损耗小、传输容量大，且可用于高落差场合，因此常用于水电站出线，取代常规的充油电缆。

在电弧作用下SF6的分解物如SF4，六氟化硫结构，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备，SF6气体监测的主要方法有一下四种:

1)电化学技术(TGS830、TGS832)费加罗传感器或卤素气体传感器。

电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，六氟化硫是什么，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。

2)高压击穿技术。

电i击穿技术是从SF6在电力上的典型应用--作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。

3)红外光谱技术(IAC510)

红外光谱吸收技术(又称激光技术)的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，相门区六氟化硫，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。

4)电子捕获ECD原理

电子捕获检测器(electron capture detector)，简称ECD。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性(无电负性)的物质，如烷烃等则无信号。

法　将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法　氯氟代和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，六氟化硫检测，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。




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