氦检漏系统主要用于检测工业设备中的微量泄漏。它采用高纯度惰性气体——氦气作为示踪介质，通过测量其压力变化来评估设备的密封性能。该系统的应用范围广泛，包括但不限于：
*航空航天、领域的关键部件或精密仪器；
*压力容器和管道的在线监测与维护保养等；
*在汽车制造行业中用于检查发动机燃油系统和刹车管路的泄露情况以及在空调制冷系统中查验是否存在微小渗漏。

真空箱氦检漏系统是一种用于检测和测量真空容器内气体是否含有氦气的设备。它通过将氦气充入真空容器内，氦质谱检漏仪系统，然后抽出容器内的空气，检测其是否含有氦气来实现检漏。系统通常由氦气发生器、氦气检测器和真空系统等组成。氦气发生器可以产生高纯度的氦气，氦气检测器用于检测容器内的氦气浓度，真空系统用于保持真空环境。真空箱氦检漏系统广泛应用于半导体、光伏、太阳能、电子、真空镀膜等行业，可以用于检测和测量真空容器内的气体是否含有氦气，确保产品质量和安全生产。

氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，其原理基于带电粒子在磁场中的偏转以及气体分子对电磁辐射的吸收。该系统的部件是氦离子源和质谱仪。
当需要检查的对象内部存在微小压力时，可以使用液态惰性气体作为示踪剂（例如：氦气），通过管道进入待测对象内并被稀释到很低浓度后从密封区域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此时可以通过测量总释放量Ra来判断泄露是否发生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足够小时则认为发生了泄露[1]。

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