真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。

化锂吸收式制冷机是以热能为动力，水和化锂水溶液为工质对的低耗电，低噪音的环保型制冷机。利用水在真空状态下，较低温度就可以蒸发的原理，制取冷水。主要有蒸汽型，燃油型，家电行业氦检漏厂商，高低温水型，高温水大温差型，冷温水同时供给型，广泛用于楼宇，制造行业的制冷采暖系统。化锂吸收式制冷机对于机体内部气密性要求很高，若机体内部有微量的不凝性气体，会对机器性能产生严重影响。在制冷量严重降低的同时，容易对机体产生巨大的腐蚀，产生铁锈，铜锈并容易对喷嘴，泵体，过滤器造成堵塞。所以对于化锂吸收式制冷机来说，检漏是的。

寻求一种合适的检漏方法，对汽轮机真空系统进行行之有效的检漏和堵漏工作，提高机组的真空严密性及真空已成为改善机组运行状况、节能降耗以及机组安全运行的一项重要工作。氦质谱检漏技术是一种 应用于国内外对真空容器检漏的技术，氦质谱检漏技术的高灵敏度和无损性早已成功地应用于航天、电子、制冷等领域。应用氦质谱检漏技术对火电厂汽轮机真空系统进行检漏的方法，近几年已在电力生产中逐渐推广应用。

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