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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。

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Edwards TURBO Pump 泵浦保养-英国爱德华真空分子泵维修,Edwards NEXT400D/NEXT400T爱德华涡轮分子泵




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分子真空泵,它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,爱德华磁悬浮涡轮泵维修保养,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。




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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。

根据应用可使用较小的前级泵。也可使用极限压力小于 5 mbar 的适用隔膜泵,例如 XDD1。

在此入口压力之上,旋转速度会降至低于标称速度。

功率限制设置为 160 W。

 空气和水冷却附件须单独订购

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