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广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

  2000 L 磁悬浮分子泵研制中,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计。控制器中,二手泵莱宝TW1600保养厂家,对不同振动采用不同方法抑制:陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动,依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性,东莞二手泵莱宝,分子泵平稳升速到24000 r/ min,样机达到了设计真空性能指标。

  在分子泵转子设计中,转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子da工作转动频率即400 Hz,但其对转子振动的影响依然不能忽略,尤其在高速运行时,陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。通常认为传统轴承支承的转子,反向涡动很难被激发,二手泵莱宝TW1600维修,但对电磁轴承转子系统,经常可观察到反向涡动被激发出来。因此,在转子工作于整个转速范围内时,均应为弯曲模态振动提供足够阻尼,避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上,如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼,转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。


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