SU8模具制备流程

一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。

匀胶

1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；

将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，显影机，2段1800转30s）

1、启动曝光：确认参数设定无误后，点击启动按钮，设备将开始进行曝光。

2、监控曝光过程：在曝光过程中，您可以通过设备界面监控曝光进度，确保一切顺利进行。

3、曝光完成：曝光结束后，设备会发出提示，取出硅片和光刻板。

顶旭微控

顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累，持续将zhuan业知识与创新思维相结合，为客户提供gao品质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心，不断挑战自我，不断追求zhuo越，通过zhuan业、创新和合作，为客户创造更大的价值，共同开chuang微流控领域的美好未来。

数显测厚规（千分款）

测量匀胶厚度

量程:0~10mm

精度：0.001mm

公差：≤±0.005mm

显微镜

观察头：铰链式三目观察头，30°倾斜，瞳距48～75mm

目镜：超大视野目镜 10X/22

无xian远平场消色差物镜：4X/0.1，10X/0.25，20X/0.4，40X/0.65

转化器：四孔转换器

载物台：载物台面积300×268mm，移动范围250×250mm

焦距调节：同轴粗微动调焦机构，行程24mm

照明系统 ：6V20W卤素灯，亮度可调

滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片

山东显影机-顶旭(推荐商家)由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。顶旭（苏州）微控技术有限公司是江苏 苏州 ,生物制品的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在顶旭领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创顶旭更加美好的未来。