SU8模具制备流程

一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。

匀胶

1）打开匀胶机，微流控光刻机设计，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；

将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）

注射泵是一种基于步进电机作为驱动源，用于控制jing确液体流量和流速的装置。它通常由步进电机、泵头和控制器组成。步进电机提供了jing确的转速和位置控制，泵头用于推动液体流入管路，控制器则控制电机旋转的角度和速度。

注射泵具有以下特点：

1.高精度控制：步进电机可以非常精que地控制旋转角度和速度，从而实现高精度的流量和流速控制。

2.可编程控制：控制器可以通过编程方式设置电机旋转的脉冲数和频率，微流控光刻机公司，从而实现不同的流量和流速控制模式。

3.安quan可靠：步进电机驱动的注射泵通常具有多种安全保护措施，如过载保护、限位保护等，确保设备的安quan可靠运行。

4.易于操作：步进电机驱动的注射泵通常具有友好的用户界面和操作系统，操作简单、方便。

5.应用范围广：步进电机驱动的注射泵适用于各种需要精que流量和流速控制的实验、生产和检测场合，如微流控技术、生物技术、化学实验等。

需要注意的是，步进电机驱动的注射泵相比于传统注射泵，价格较高，但是在需要高精度流量控制的应用场合中，其精度和可编程性优势显著，得到了广泛的应用和认可。

使用方法

该设备操作简单，微流控光刻机哪家好，易于上手，具体操作如下：

一、曝光前准备工作

1、硅片处理：确保待曝光硅片经过匀胶处理，表面干净平整，天津微流控光刻机，没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查：仔细检查设备，确保所有部件处于正常工作状态，确保操作环境良好。

二、曝光操作步骤

1、安装硅片：将待曝光硅片平放在设备的载台上，确保位置准确。

2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定曝光参数：使用控制面板设置曝光时间和强度，根据具体需求进行调整。

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